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斯坦福大學(xué)鮑哲南院士《AFM》綜述:教你如何設(shè)計(jì)壓力傳感器的微結(jié)構(gòu)
壓力傳感器在消費(fèi)電子、醫(yī)療和機(jī)器人等領(lǐng)域的重要性已無(wú)需贅述。伴隨著電子皮膚等概念的飛速發(fā)展,更輕、更薄、可穿戴的壓力傳感器層出不窮?,F(xiàn)階段,科學(xué)家已經(jīng)在這一領(lǐng)域積累了大量的工程經(jīng)驗(yàn)和理論基礎(chǔ)。當(dāng)我們站在現(xiàn)在,展望將來(lái)的壓力傳感器發(fā)展路線時(shí),我們最需要的是更成系統(tǒng)的設(shè)計(jì)理念,讓我們從“設(shè)計(jì)-制備-測(cè)試-再設(shè)計(jì)”的經(jīng)驗(yàn)主義走向“理論預(yù)測(cè)/設(shè)計(jì)-制備-測(cè)試”的理性設(shè)計(jì)路線。 近日,斯坦福大學(xué)鮑哲南院士團(tuán)隊(duì)針對(duì)壓力傳感器活性層的微結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)進(jìn)行了綜述。針對(duì)四種最常見(jiàn)的壓力傳感器,即電容傳感器、電阻傳感器、…